為了在潔凈室運行過程中及時了解與判定潔凈室所處狀態(tài)是否符合設(shè)計要求和滿足生產(chǎn)的需要，潔凈室應(yīng)定期對其主要技術(shù)性能指標進行周期性監(jiān)測，某些高級別潔凈室對一些關(guān)鍵性指標甚至設(shè)置了連續(xù)巡查的裝置，以便及時判定潔凈室的受控狀態(tài)。
1、（表1：）標準ISO 14644-2的規(guī)定

備注：這些測試可按照規(guī)定的ISO等級在動態(tài)或靜態(tài)條件下進行；
a.氣流量可用風速或風量測量方法測得。
b.本項測試不適用于非全封閉的潔凈區(qū)。
除上表規(guī)定的標準測試外，ISO 14644-2還給出了任選項目的測試，下表所列的任選項目測試也可包括在測試項目中。
（表2：）任選項目測試的時間間隔：
 
ISO 14644-2對潔凈室監(jiān)測還作出了如下一些補充規(guī)定：
（1）除表1所列的標準監(jiān)測項目外，用戶與承包商可共同商定增添其他的測試項目。
（2）如果潔凈室裝置了懸浮粒子濃度和壓差的監(jiān)測儀表，并連續(xù)或頻繁的進行監(jiān)測，且監(jiān)測結(jié)果始終處于規(guī)定的限制以內(nèi)，則可延長表1所列的時間間隔。
（3）如果監(jiān)測數(shù)據(jù)出現(xiàn)超過規(guī)定限制的情況，標明潔凈室不符合要求，要及時采取適當?shù)难a救措施，補救措施完成后應(yīng)對潔凈室進行再認定，若符合要求，就可以恢復例行監(jiān)測。
（4）懸浮粒子濃度及其它參數(shù)的例行監(jiān)測一般是在動態(tài)下進行。
（5）懸浮粒子的監(jiān)測計劃是根據(jù)潔凈室的風險分析與評估制定的。該計劃中應(yīng)該包括的內(nèi)容有：預先設(shè)定的采樣裝置，每個空氣樣本的小采樣量、采樣的時間長短、采樣的時間間隔、測量的粒徑、計數(shù)的許可限制。如果需要還可包括報警值、行動限制、漂移值。
2、國家標準GB 50073-2001關(guān)于監(jiān)測的規(guī)定
GB 50073-2001對潔凈室的監(jiān)測作了如下規(guī)定，確認潔凈室或潔凈區(qū)符合規(guī)范要求應(yīng)進行三項測試：
（1）空氣潔凈度測定（生物潔凈室應(yīng)進行浮游菌、沉降菌測定）；
（2）靜壓差測試；
（3）風速或風量測試。
三項測試的長時間間隔分別列于下表3和表4中。
（表3：）空氣潔凈度等級認證的測試要求

（表4：）靜壓差和風速（風量）認證的測試要求

備注：如果潔凈室或潔凈區(qū)已對粒子濃度、風速、靜壓差執(zhí)行連續(xù)監(jiān)測，并且其測試值均符合本規(guī)范要求，則認證的測試時間間隔可延長。具體間隔時間，可與認證單位洽商。
a.空氣潔凈度等級認證，可在靜態(tài)或動態(tài)檢測，洽商確定。
b.風量測定，用風速計在風口或風管測定。
c.該項測試不適用于潔凈區(qū)。